热门关键词: 测角仪,应力双折射,折射率,薄膜弱吸收,反射率,GDD检测设备,波片相位延迟,剪切
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简要描述:X-LDM-AE 系列,线性电动位移台,集成控制器。高重复性(80nm)和精度 (1 µm),最小移动量 25nm。
产品分类
精密光机系统
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详细介绍
高重复性(80nm)和精度 (1 µm),最小移动量 25nm
直接位置测量从1nm分辨率线性编码器
速度可达1.2m/s 和3.5g 加速度
60, 110, 210 mm 行程可选
内置控制器
非接触无铁超精密直线电机,高动态和零反弹
直接安装在XY 轴
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