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X-LDM-AE 系列

简要描述:X-LDM-AE 系列,线性电动位移台,集成控制器。高重复性(80nm)和精度 (1 µm),最小移动量 25nm。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-05-17
  • 访  问  量:80

详细介绍

X-LDM-AE 系列

 

  • 高重复性(80nm)和精度 (1 µm),最小移动量 25nm

  • 直接位置测量从1nm分辨率线性编码器

  • 速度可达1.2m/s 和3.5g 加速度

  • 60, 110, 210 mm 行程可选

  • 内置控制器

  • 非接触无铁超精密直线电机,高动态和零反弹

  • 直接安装在XY 轴

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