角分辨散射测量系统-Horos简易型散射仪

简要描述：角分辨散射测量系统-Horos(hight sensitive optical roughness sensor)简易型散射仪是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量从微米级到亚纳米级的表面粗糙程度。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。

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Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量从微米级到亚纳米级的表面粗糙程度。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。

测量参数：粗糙度相关参数如功率谱密度（PSD），3D散射光分布，并可求得粗糙度，检测样品均一性

• 体积小，速度快: 测试时间<1s

• 非接触式2D/3D测量

• 高灵敏度/低噪声：Rq<0.5nmt

• 高动态范围≧1013

• 可与轮廓仪直接相连并比较测量结果

应用：

可在下列领域中进行快捷，不受外界干扰的高精度检测

• 平面或复杂（各种形状）表面

• 光学加工（表面加工，镀膜，模具制造等）

• 机械零件

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